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一种真空传输装置.pdfVIP

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  • 2023-02-23 发布于北京
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一种真空传输装置.pdf

    本实用新型公开一种真空传输装置，用于在各真空子系统之间进行样操作，包括与各个真空子系统连通的直线传输管，配置于所述直线传输管的腔室内的传输小车，安装于所述直线传输管的传输接口上的磁力杆，放置样品托的传输基座以及安装于所述真空子系统腔室上的机械手。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212798648 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021234111.6 (22)申请日 2020.06.30 (73)专利权人 埃频（上海）仪器科技有限公司

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