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一种吸盘异物检测系统应用于一晶圆加工装置，并且包含一第一照明模组、一第二照明模组、影像撷取模组、一控制单元以及一影像识别单元。第一照明模组与第二照明模组在一作业区内设置晶圆吸盘的两侧。影像撷取模组设置于作业区，并位于晶圆吸盘的上方，用以撷取晶圆吸盘的影像。控制单元电性连结于第一照明模组、第二照明模组以及影像撷取模组，用以控制第一照明模组与第二照明模组依照一检测时序依序发光，并控制影像撷取模组依照检测时序撷取多个低反光影像。影像识别单元电性连结于影像撷取模组，用以分析低反光影像而判断晶圆吸盘是否有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212848326 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202022087852.2
(22)申请日 2020.09.22
(73)专利权人 致茂电子(苏州)有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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