一种新型低接触晶圆对中翻转机构.pdfVIP

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2023-02-25 发布于北京
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一种新型低接触晶圆对中翻转机构.pdf

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本新型涉及一种新型低接触晶圆对中翻转机构，包括承载机架、承载托盘、定位承载架、转台机构、传动轴、导向臂、升降驱动机构、激光灯、光敏传感器及驱动电路，承载机架内设一个作业腔及一个驱动腔，承载托盘嵌于作业腔内布，承载托盘底部设光敏传感器，转台机构上端面与传动轴连接，传动轴与导向臂后端面连接，导向臂前端与定位承载架铰接，激光灯均布在定位承载架上端面及下端面。本新型一方面可有效满足对硅晶圆进行高效转运、翻转及对中定位作业；另一方面调节自由度大且运行精度高，可有效满足多种不同结构硅晶圆定位作业，且定位是本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212885693 U (45)授权公告日 2021.04.06 (21)申请号 202021520997.0 (22)申请日 2020.07.28 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司