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本实用新型提供了一种垂直结构LED芯片,采用超薄的金属衬底作为垂直结构LED芯片的衬底,金属衬底的导电、导热能力优异,可以显著增加芯片的导电和散热能力,提高了芯片极限工作性能;并且,在金属衬底第二表面形成金属应力调整层,金属应力调整层采用与金属衬底不同的材料制成,可以补偿外延层对金属衬底施加的应力,改善制备垂直结构LED芯片的晶圆的翘曲问题,提升了晶圆划片的工艺良率,进而提高垂直结构LED芯片的良率,具有良好的技术推广应用前景。并且采用超薄金属衬底能显著降低垂直结构LED芯片的尺寸,满足芯片小型
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212874527 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202022175585.4
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 厦
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