一种用于单面湿法刻蚀的手持夹具.pdfVIP

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2023-02-25 发布于北京
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一种用于单面湿法刻蚀的手持夹具.pdf

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本实用新型公开了一种用于单面湿法刻蚀的手持夹具。现有湿法刻蚀加工设备不适用于小批量原型器件的制备。本实用新型包括下层结构、上层结构、手柄。下层结构中下层本体表面开设外圈密封槽和内圈密封槽，内置外圈密封圈和内圈密封圈，并开设下层螺纹孔。上层结构中上层本体上开有晶圆定位槽，晶圆定位槽底开有刻蚀液通孔，上层本体开设有上层螺纹孔和手柄安装孔。使用中，将需要刻蚀的材料晶圆置于晶圆定位槽内，下层本体与上层本体通过螺钉固定连接。本实用新型制造成本低，使用方便，能够较好的控制蚀刻时间，可以实现晶圆的单面蚀刻，便

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212907691 U (45)授权公告日 2021.04.06 (21)申请号 202021456732.9 (22)申请日 2020.07.22 (73)专利权人浙江工业大学地址