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本实用新型提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置,属于导向机构技术领域。该离子注入机的离子束测量导向装置包括基础组件和导向组件。所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体,所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一固定块、第二气缸、第三固定块、滑轨、第四固定块、滑块、电量传感器和连接柱,使用时,电量传感器感应离子束的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求,该导向装置金属反射板角
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212874425 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202022175162.2
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 锐捷芯盛(天津)电子科技有限公
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