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本新型涉及一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置，包括承载机架、三维位移台、承载托盘、CCD摄像头、检测盘、激光灯及驱动电路，激光灯嵌于承载机架内，承载托盘下端面与三维位移台连接，检测盘嵌于承载托盘上端面并与承载托盘上端面同轴分布，CCD摄像头位于承载托盘内，并与承载托盘底部连接，且CCD摄像头光轴与承载托盘同轴分布，并与检测盘下端面相交，驱动电路嵌于承载机架外，并分别与三维位移台、CCD摄像头、激光灯电气连接。本新型一方面可灵活实现与多种激光切割配套装配运行，且检测作业可随激光切割头同步运行；
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212885798 U
(45)授权公告日 2021.04.06
(21)申请号 202021518766.6 H01L 21/68 (2006.01)
(22)申请日 2
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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