一种可无污染加热及准确控制工件温度的离子镀设备.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种可无污染加热及准确控制工件温度的离子镀设备.pdf

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一种可无污染加热及准确控制工件温度的离子镀设备，加热系统置有弧光电子源，它包括柱状阴极电弧阴极，其前面设有一电弧前挡板，板侧旁开有长条形侧缝开口；于挡板外上述开口附近置有辅助阳极吸拉上述等离子体中的电子流到镀膜空间，以增加辉光等离子体对工件的加热效应；还有公转探温杆，竖立在工件自转轴板的旁边、在工件架公转盘上随同公转；若干探温组件，竖直排列地安装在公转探温杆上，信号线与一温度监控仪表电连接；一PLC控制器，分别与辅助阳极电源、柱状阴极电弧电源以及温度监控仪表电连接。本实用新型可无污染地对工件实施

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212955311 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 201921286819.3 (22)申请日 2019.08.09 (73)专利权人东莞市汇成真空科技有限公司