立式自动上下晶圆装置.pdfVIP

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2023-02-27 发布于四川
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立式自动上下晶圆装置.pdf

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本实用新型提供一种立式自动上下晶圆装置，其包括：上料机构、XY机构、翻转机构；上料机构包括：平台以及升降结构，平台由升降结构带动进行升降；XY机构驱动翻转机构于上料机构的一侧进行平移运动，其包括：第一底座、供第一底座沿X方向滑动的第一导轨、设置于第一底座上的第二底座、供第二底座沿Y方向滑动的设置于第一底座上的第二导轨；翻转机构包括：翻转台、驱动翻转台枢转的第二传动电机；翻转台上具有至少两个并排设置的上料槽。本实用新型的立式自动上下晶圆装置通过采用一翻转机构，其首先接收水平放置的晶圆，然后将其翻转

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212967646 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202021901485.9 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人苏州艾科瑞思智能装备股份有限