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- 2023-02-27 发布于北京
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本申请属于半导体工艺技术领域,公开了一种半导体清洗支架,包括超声波清洁箱,所述超声波清洁箱的顶端两侧对称固定连接有支架本体,所述超声波清洁箱的顶端靠近背面一侧设置有喷淋管,所述超声波清洁箱的顶端中心处开设有清洗槽,所述支架本体的内部设置有升降机构,两个所述支架本体相对的一侧设置有承载载具,所述承载载具的两侧对称设置有壳体;两个所述壳体的内部设置有转动组件,所述转动组件包括第一齿轮和第二齿轮。将半导体放入承载载具后,转动第二旋钮,通过内部结构带动半导体转动至水平状态后,停止转动第二旋钮,此时矩形半
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218517382 U
(45)授权公告日 2023.02.24
(21)申请号 202222593795.4
(22)申请日 2022.09.29
(73)专利权人 苏州盖锜智能科技有限公司
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