一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒.pdf

本实用新型公开了一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒,包括不锈钢层、上筒体、下筒体和连接机构,本实用新型通过设置了连接机构于上筒体外侧,通过固定环进入到T型环内侧底端进行固定,使得上筒体连接于外部的生产设备更加紧密,同时在硅胶环的作用下使得固定环和T型环的连接密封性更高,而拆卸过程可通过转动转杆带动固定块转动脱离凸板底部,使得T型杆受到弹簧弹力向上移动,并且T型杆配合传动架带动卡块向右移动脱离固定环底部的卡槽,从而完成对上筒体的拆卸,到达了提高导流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212983095 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202021909851.5 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人 内蒙古豪安能源科技有限公司

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