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CEC622-2018中文版集成电路制造用超纯水技术规范

标准编号：CEC622-2018

标准名称：集成电路制造用超纯水技术规范

发布机构：中国电力企业联合会

发布日期：2018年12月25日

实施日期：2019年03月01日

标准属性：电力行业推荐性标准、集成电路超纯水专项落地规范

文档版本：官方中文版完整工程落地合规版

适用领域：8英寸/12英寸集成电路晶圆制造、逻辑芯片、存储芯片、功率IC、先进封装测试产线超纯水系统的设计、建设、调试、水质判定、运行运维、验收审厂、系统改造及国产化适配，覆盖集成电路全制程超纯水制备、输送、终端使用全链路管控场景

规范价值：国内集成电路制造领域专属超纯水行业标准，精准匹配芯片制程微污染零容忍特性，填补了通用工业纯水标准与半导体高端制程用水标准之间的落地空白。标准明确了集成电路分级水质指标、工艺架构、设备选材、检测方法与运维准则，解决了晶圆厂超纯水水质波动、微颗粒与痕量杂质超标、系统运维无专属依据、新旧产线改造无合规标准等行业痛点，是集成电路超纯水工程落地、量产品质管控、客户审厂、行业合规的核心专项依据

目次

1范围

2规范性引用文件

3术语、定义与符号

4超纯水水质分级与技术指标

5超纯水制备系统工艺要求

6设备、管路与材质通用要求

7水质检测与试验方法

8系统运行、维护与管控要求

9节能、环保与安全管控要求

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