IEC 61340-5-2_2018 中文版 电子器件静电防护 超纯水系统静电管控标准.docxVIP

IEC61340-5-2:2018中文版电子器件静电防护超纯水系统静电管控标准

标准全称：IEC61340-5-2:2018静电学第5-2部分：电子器件的静电防护超纯水系统静电控制规范

标准归口：国际电工委员会IEC/TC101静电技术委员会

发布实施日期：2018年05月发布，2018年同步全球生效执行

替代关系：替代IEC61340-5-2:2007旧版标准，全面升级超纯水流体静电管控体系

标准层级：国际电工委员会（IEC）正式发布、半导体/微电子行业强制合规级ESD管控基准

标准状态：现行最新有效、全球半导体晶圆厂、封装测试厂、精密电子洁净车间通用合规标准

标准属性：专门针对超纯水流体介质制定的专项静电防护国际标准，填补液体静电管控空白，规范超纯水输送、循环、清洗、喷淋工艺中的静电起电、积聚、泄放、检测与管控全流程，是电子器件湿法工艺ESD失效防控的核心底层规范

核心行业价值：解决半导体、微电子、精密元器件湿法清洗工艺中超纯水静电积聚导致的晶圆击穿、栅极损伤、微静电击穿、表面吸附颗粒、良率下滑等行业核心痛点，统一全球超纯水系统ESD设计、施工、运维、检测、验收尺度

配套联动标准：IEC61340-5-1（电子器件ESD通用要求）、IEC61340-4-1（洁净区ESD管控）、IEC61000-4-2（静电放电抗扰度）、SEMIS20（半导体