SEMI F102-2022 中文版 半导体超纯水回用与再生处理技术规范.docxVIP

SEMIF102-2022中文版半导体超纯水回用与再生处理技术规范

标准全称：SEMIF102-2022《ReclamationandRegenerationTreatmentSpecificationforSemiconductorUltra-PureWater》半导体超纯水回用与再生处理技术规范

标准归口：国际半导体设备与材料协会（SEMI）、半导体水处理与节能技术委员会

发布实施日期：2022年09月正式发布，全球半导体制造全域同步生效

替代关系：全面替代SEMIF102-2018旧版，系统性升级超纯水回用水质分级、再生工艺阈值、痕量杂质管控、系统防污染与节能运行条款，适配先进制程节水提质双需求

标准层级：全球半导体行业超纯水回用再生唯一权威基准标准，晶圆制造、封测、面板、光伏半导体制程节水工程强制采信规范

标准状态：2022版现行最新有效，是国际半导体工厂节水改造、中水回用、浓水再生、系统验收、绿色工厂认证、跨境产能合规的核心法定依据

标准属性：专为半导体超高纯水系统定制的资源化再生闭环技术标准，区别于通用工业废水回用规范，聚焦半导体纯水排水低污染、高洁净、痕量杂质残留的专属特性，建立“分类收集、分级处理、精准再生、制程回用”的全链条技术体系

核心行业价值：解决半导体行业超纯水回用乱象、再生水质不达标、痕量杂质回流污染制程、回用系统稳定性差、