GB_T 21510-2015 中文版 半导体工业用水 第 1 部分：总则.docxVIP

GB/T21510-2015中文版半导体工业用水第1部分：总则

标准编号：GB/T21510.1-2015

标准名称：半导体工业用水第1部分：总则

发布机构：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2015年12月31日

实施日期：2016年07月01日

标准属性：国家推荐性标准、半导体水处理顶层通用基础标准

文档版本：官方中文版完整合规行业落地版

适用领域：集成电路、分立器件、第三代半导体、半导体封装测试、光伏半导体、微电子元器件全产业链生产用水系统的规划设计、设备选型、施工验收、运行管控、水质判定、节能运维、合规审厂全场景，覆盖工厂原水、工艺纯水、超纯水、清洗用水、冷却用水、辅助工艺用水全水系体系

规范价值：国内半导体工业用水领域唯一顶层总则性国标，构建了半导体全品类用水的分类体系、通用技术原则、管控基准与合规框架，统一行业用水定义、分级逻辑、设计准则与质量管控底线，终结早期半导体水处理无统一国标、各行各企标准混乱的行业乱象，是所有半导体纯水/超纯水专项标准、膜组件标准、检测标准、工程规范的基础性上位依据，为半导体工厂水系系统建设、国产化配套、品质管控、节能降耗、客户审厂提供法定合规支撑

目次

1范围

2规范性引用文件

3术语和定义

4半导体工业用水分类与体系架构

5通用技术基本原则（强制性通用准则）

6水质管