原创力文档- 1
- 0
- 约7.75千字
- 约 9页
- 2023-02-27 发布于北京
- 举报
本实用新型属于硅片拿取领域，具体为一种光刻机的硅片拿取装置，包括第一夹杆、第二夹杆、第一夹板和第二夹板，第一夹杆上设置有固定装置，固定装置上开设有滑动槽，固定装置内设置有固定片，固定片上连接有第二连接柱，第二连接柱上设置有第二突出块，第二夹杆上设置有固定柱，固定柱上开设有固定槽，第一夹杆与固定柱对应处开设有圆孔；第一夹板上设置有第一连接块，第一连接块上设置有第一凹槽，第二夹板上设置有第二连接块。本实用新型的一种光刻机的硅片拿取装置，能够让使用者省力的夹持硅片，便于使用，并能更换损坏的部件，提高了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212989876 U
(45)授权公告日 2021.04.16
(21)申请号 202021680566.0
(22)申请日 2020.08.12
(73)专利权人 詹菲
地址 324
文档评论（0）