内嵌金属基氮化物材料外延衬底.pdfVIP

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2023-02-27 发布于四川
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内嵌金属基氮化物材料外延衬底.pdf

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本实用新型涉及第三代半导体材料制备技术领域，尤指一种内嵌金属基氮化物材料外延衬底，包括衬底，衬底制有若干个凹坑，每个凹坑内依次生长有第一金属介质层、第二金属介质层和第三金属介质层，第三金属介质层在凹坑内生长至覆盖衬底。本实用新型解决第三代氮化物材料及器件散热差的问题，使氮化物材料及器件在工作过程中始终处于较低的结温状态，提高其可靠性及性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212967679 U (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202022428035.9 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人北京大学东莞光电研究院