1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种硅片表面清洗烘干装置.pdfVIP

  • 10
  • 0
  • 约6.72千字
  • 约 8页
  • 2023-02-27 发布于北京
  • 举报

一种硅片表面清洗烘干装置.pdf

    本实用新型公开了一种硅片表面清洗烘干装置，涉及硅片加工技术领域，该装置旨在解决现有技术下无法将硅片分散开来，硅片在清洗过程中容易堆积在一起，导致堆积在内部的硅片无法清理到位的技术问题。该装置包括储水罐、设置于储水罐上侧的清洗罐、设置于清洗罐上侧的顶盖、设置于顶盖上侧的烘干组件、设置于清洗罐内侧的清洗组件；其中，储水罐和清洗罐左侧设有连接水管，连接水管末端设有水泵，储水罐前侧设有进水口，储水罐右侧设有出水口，出水口上侧设有排污口，储水罐内侧设有过滤网。该装置通过清洗组件的设置，可以在清洗过程中对硅

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218517314 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202222624175.2 (22)申请日 2022.09.29 (73)专利权人 安徽晶天新能源科技有限责任公

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >