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一种高效研磨转换系统盘.pdfVIP

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本实用新型提供一种高效研磨转换系统盘,包括转盘,所述转盘的顶部吸附有磁性盘,所述磁性盘的顶部吸附有转换盘,所述转换盘的顶部拆卸自由的设置有抛光盘;所述转换盘具有磁吸于所述磁性盘顶部的基板,所述基板的顶部设置有与所述抛光盘拆卸自由连接的结合层;转换盘与磁性盘的磁吸连接方式,可实现对磁性盘上的转换盘及抛光盘的快速更换,可采用多个转换盘分别安装多个粒目不同的抛光盘,在磨抛时快速更换即可;通过不同的转换盘可连接不同类型的抛光盘,能满足不同的磨抛需求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212977997 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202020795210.5 (22)申请日 2020.05.14 (73)专利权人 苏州特鲁利电子材料有限公司

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