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一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置.pdf

    本实用新型公开了一种纳米晶圆研磨液加工用测试装置，包括箱体，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置从上到下依次设置有液泵和电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的右端设置有喷淋管，所述箱体左侧壁靠近顶部的位置设置有三通阀，所述三通阀的外侧设置有进液管，且进液管设有两个，两个所述进液管远离三通阀的一端贯穿箱体左侧壁靠近底部的位置并延伸至箱体的内部，使液泵工作通过三通阀、进液管和喷淋管将研磨液喷洒在物品的上表面，通过研磨装置对物品进行研磨，观察物品研磨表面的研磨情况能够对研磨液的效果进行判断，通过三通阀能够改变进液管的进

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218524690 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202222579375.0 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人 合肥长天化学技术有限公司 地址

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