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四氯化硅加料装置.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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四氯化硅加料装置.pdf

    本实用新型公开了一种四氯化硅加料装置，用于提供气态的四氯化硅，包括：四氯化硅储罐、输送泵、第一缓冲罐和加热机构；所述四氯化硅储罐用于存放液态的四氯化硅，所述输送泵通过管路分别连接所述四氯化硅储罐和第一缓冲罐，所述输送泵用于将所述四氯化硅储罐的四氯化硅送入所述第一缓冲罐，所述加热机构用于对所述输送泵和第一缓冲罐之间的管路进行加热以使管路内液态的四氯化硅汽化，气态的四氯化硅从所述第一缓冲罐向外送出。上述四氯化硅加料装置能够稳定、均匀地送出气态的四氯化硅。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212986772 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202021729447.X (22)申请日 2020.08.18 (73)专利权人 苏州英纳特纳米科技有限公司

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