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一种靶材真空喷涂生产设备.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种靶材真空喷涂生产设备.pdf

    本实用新型适用于喷涂设备技术领域，尤其涉及一种靶材真空喷涂生产设备，包括喷涂装置，所述靶材真空喷涂生产设备还包括壳体、端盖和转盘，端盖可拆卸连接在壳体的顶部，且端盖上设置有定位组件，转盘通过轴承转动设置在壳体内腔底部，且通过电机驱动，转盘上端固定有双轴电机，双轴电机的两个转动轴上通过丝杆连接有滑块，滑块与转盘滑动连接，滑块远离双轴电机的一侧设置有电动推杆，电动推杆靠近滑块的一端固定有定位块，喷涂装置设置在壳体外壁上，壳体内壁上至少设置有一组滑轨，滑轨上滑动连接有喷头，喷头与喷涂装置连接。本实用新

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212975629 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202021631861.7 (22)申请日 2020.08.07 (73)专利权人 段翠桃 地址 51

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