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一种组合式结构的晶圆夹盘.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种组合式结构的晶圆夹盘.pdf

    本实用新型公开了一种组合式结构的晶圆夹盘，包括主体，所述主体的端部固定有连接件，所述连接件的端部内侧对称固定有连接杆，所述主体的顶端设置有夹盘，所述主体的表面设置有连接机构，所述连接件的端部内侧设置有防尘机构；本实用新型通过设计的连接槽、连接块、卡槽与卡扣，能够实现让夹盘与主体准确无误的对接，同时配合设计的限位槽、限位块、伸缩弹簧、贯穿槽与操作块，可以进一步对夹盘与主体进行限位组合连接，并且让定位孔与螺孔准确无误的对位，以便于使用定位杆进行牢固的组合固定，相比较现有的技术，大大方便了夹盘与主体的

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218525565 U (45)授权公告日 2023.02.24 (21)申请号 202222646837.6 (22)申请日 2022.10.08 (73)专利权人 昆山科迪特精密工业有限公司 地址

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