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一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置.pdf

    本实用新型公开了一种深紫外LED外延生长设备伸缩装置，涉及半导体生产装置技术领域，针对现有的生产不稳定的问题，现提出如下方案，其包括生产箱和齿轮组，所述生产箱的中间固定连接有的分隔板，所述分隔板的下方设置有与生产箱固定连接的第一电机，所述第一电机的输出端通过齿轮组连接有第一变速箱，所述第一变速箱通过齿轮组固定套接有与生产箱转动连接的旋转轴，所述旋转轴的外壁滑动套接有旋转杆，本实用新型结构简单，使用方便，可以实现放置板多角度的调节，改变与散气箱的相对位置，同时可以改变喷气箱出气的位置，保证原料生长

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212991113 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202022119223.3 (22)申请日 2020.09.24 (73)专利权人 南京南大光电工程研究院有限公

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