电子显微分析四扫描电子显微镜.pptxVIP

电子显微分析四扫描电子显微镜;主要内容 电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电子显微镜的构造和工作原理 扫描电子显微镜的主要性能 表面形貌衬度原理及其应用 原子序数衬度原理及其应用;电子束与固体样品作用时产生的信号 ; 一. 背散射电子;特点：背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围，其产额能随样品原子序数的增大而增多。 作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分析。; 二. 二次电子;扫描电镜的特点 ;扫描电镜（SEM）构成;扫描电子显微镜结构原理框图; 一. 电子光学系统（镜筒）;2. 电磁透镜 功能：只作为聚光镜，而不能放大成像。 将电子枪的束斑逐级聚焦缩小，使原来直径为50μm的束斑缩小成只有数个纳米的细小斑点。 构成：由三级聚光镜构成，缩小电子束光斑。照射到样品上的电子束直径决定了其分辨率。;4. 样品室; 二. 信号的收集和图像显示系统;检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。 普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成;第十五页，共六十二页，2022年，8月28日; 三. 真空系统;扫描电子显微镜的主要性能;分辨率 电子束和固体物质作用时激发的信号有二次电子、背散射电子、吸收电子、特征X射线、俄歇电子，这些信号均可