一种高精度硅片承载盘.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种高精度硅片承载盘.pdf

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本实用新型涉公开一种高精度硅片承载盘，包括主体板，所述主体板的顶面上设有用于存放硅片的存放槽；其中，所述存放槽的各侧壁上均设有若干个向存放槽一侧凸起设置的导向定位柱，且该导向定位柱的作用面从下往上逐渐向外倾斜设置。本实用新型能降低对硅片的侧面磨损，能有效缩小硅片与承载盘之间的间隙，提高硅片的位置精度，并且能保证硅片的顺利上料。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213042890 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021894197.5 (22)申请日 2020.09.02 (73)专利权人李馥湘地址 51