天线组件及包括该组件的电感耦合等离子体处理装置.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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天线组件及包括该组件的电感耦合等离子体处理装置.pdf

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本实用新型涉及电感耦合等离子体处理装置用天线组件及包括该组件的电感耦合等离子体处理装置，在对基板进行工艺处理的工艺空间生成电感耦合等离子体，以对基板进行工艺处理。本实用新型的电感耦合等离子体处理装置用天线组件包括：输入天线，与外部的电源连接；输出天线，用于向外部输出与所述输入天线连接的电源所提供的电流；连接天线，其相对于所述输入天线和所述输出天线沿着横向配置，且一端分别连接在所述输入天线和所述输出天线；以及桥式天线，其相对于配置有所述连接天线的平面向上方隔开配置，用于对所述连接天线之间进行连接，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213043888 U (45)授权公告日 2021.04.23 (21)申请号 202021080288.5 (22)申请日 2020.06.12 (30)优先权数据 10-2019-0