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本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，其公开了一种卡塞装置，解决了目前相邻的带孔方片之间易于吸附导致不便拿取的技术问题，包括相互平行设置的两块卡塞板，两块所述卡塞板的两侧分别设有两块挡板，所述挡板的两侧固定在所述卡塞板上，所述卡塞板和所述挡板之间围合形成存放空间；所述卡塞板的内侧面开设有密布的第一卡塞槽，所述第一卡塞槽用于夹持带孔方片；所述卡塞板的顶面设于叠放的定位针。根据以上技术方案，利用卡塞板和挡板形成卡塞装置，将带孔方片夹持在存放空间内，从而达到合理摆放的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213058041 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202021703595.4
(22)申请日 2020.08.14
(73)专利权人 江西维易尔半导体设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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