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本申请涉及一种基于电子束量测设备的自动对焦方法和装置、设备及存储介质，其中方法包括：获取电子束量测设备中当前通道所采集到的多张检测图像；根据多张检测图像的清晰度评估结果自适应调整粗聚焦搜索步长，并根据调整后的粗聚焦搜索步长对电子束量测设备进行粗聚焦，确定最佳粗聚焦位置；以最佳粗聚焦位置为搜索中心，按照当前的细聚焦搜索参数采集预设张数的样品图像，并根据采集到的预设张数的样品图像的清晰度评估结果进行细聚焦搜索得到聚焦结果。其实现了采用变步长的方式进行电子束量测设备自动对焦过程中的粗聚焦，使得在进行粗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114040067 A
(43)申请公布日 2022.02.11
(21)申请号 202111305934.2
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 东方晶源微电子科技（北京）有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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