一种晶片生产用芯片固定装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型涉及晶片技术领域,公开了一种晶片生产用芯片固定装置,包括底座,底座与支撑杆底部活动连接,支撑杆与固定座固定连接,固定座与固定板底部通过开设的吸气孔固定连通,固定座与导流板固定连接,导流板与进气管固定连通,进气管与支撑杆固定连接,进气管与底座活动连通,底座的内腔固定安装有吸气泵,吸气泵通过管道与进气管活动连通。本实用新型将芯片放在固定板上,通过固定板上开设的吸气孔通过底座内部的吸气泵将芯片背部的气体抽走使芯片背部的气压小于芯片正面的气压,使芯片牢固的贴合在固定板上,解决了现阶段对半岛体芯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213093184 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202022425255.6 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人 北京宇欣泓创信息技术有限公司

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