一种用于半导体制造的CMP设备用流量计.pdfVIP

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2023-03-02 发布于四川
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一种用于半导体制造的CMP设备用流量计.pdf

本实用新型提供一种用于半导体制造的CMP设备用流量计，涉及CMP设备用流量计防护技术领域，包括计体和防护装置，计体的表面卡有管体，计体的表面设有防护装置，防护装置包括固定板，固定板靠近管体的一端与计体固定连接，固定板的表面转动连接有两个连接板，两个连接板远离固定板的一端均固定连接有半圆板，插块的大小与限位槽的大小相适配。本实用新型，由于外部环境的变化可能会对流量计造成损坏，而流量计的表面暴露在外部环境没有任何防护，导致流量计的性能可能会受到影响，影响流量计的使用，从而降低工作效率，此装置解决了流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213067782 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202022511193.0 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人天津昂嘉科技发展有限公司

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