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真空镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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真空镀膜设备.pdf

    一种真空镀膜设备，其包括机壳、自动化插片机、工艺主机、传输通道及机械爪，所述自动化插片机、所述工艺主机、所述传输通道和所述机械爪位于所述机壳中，所述传输通道连接所述自动化插片机和所述工艺主机，还包括位于所述传输通道旁侧的应急通道，当所述传输通道出现问题舟时，所述机械爪将所述问题舟抓取至所述应急通道，如此设计，在不影响正常生产的情形下，能够及时、快速的处理问题舟，提高产能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213113501 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202020594785.0 (22)申请日 2020.04.20 (73)专利权人 江苏微导纳米科技股份有限公司

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