一种晶圆激光切割底座结构.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆激光切割底座结构,包括底座、活动轴和切割台,所述底座的底部设置有垫板,且底座内开设有内腔,并且内腔的中心设置有活动轴,同时活动轴的上端头转动连接在上安装块上,且上安装块的上端设置有切割台,所述底座的上端设置有顶座,且顶座的上端面左部安装有两组减震器,两组减震器的上端固定在左担板的底面。该晶圆激光切割底座结构,结构设置合理,通过大齿轮与小齿轮之间的齿动连接关系,使得小齿轮带动活动轴进行升降活动,方便提高或是降低切割台的高度位置,在切割台的上端面左右两部都设置有网面板,方便散

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213053342 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021976897.9 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司

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