原创力文档- 6
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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型提供了一种面内滑动式MEMS开关，包括基底、驱动部件以及滑动部件，滑动部件设于基底上，基底和滑动部件通过超滑面实现原子级光滑表面接触；驱动部件包括设于基底内部的两个第一电极件以及设于基底外部的第二电极件，第一电极件与第二电极件相对设置，且滑动部件设于第一电极件和第二电极件之间，第二电极件接地连接，对任一第一电极件施加电压，另一第一电极件接地。滑动部件设置在第一电极件和第二电极件之间，使得滑动部件的两侧可以形成压差，驱动滑动部件能够在基底上往复运动，进而实现开关的效果，且第二电极件设置在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213071018 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202022262247.4
(22)申请日 2020.10.13
(73)专利权人 深圳清华大学研究院
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