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一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆激光切割用晶圆片固定结构，包括右安装板、螺杆、工作桌和左安装板,所述工作桌的底面左右两部分别垂直固定有左支撑板和右支撑板，且工作桌的中心开设有第二通孔,并且第二通孔内套置有螺杆，同时螺杆的上端设置有上连接头，且上连接头转动连接在加工台的底部内，所述工作桌的左部中间开设有左凹槽，且左凹槽内设置有左安装板，并且工作桌的右部中间开设有右凹槽，同时右凹槽内安装有右安装板。该晶圆激光切割用晶圆片固定结构，结构设置合理，左安装板和右安装板上均安装有第一伸缩气缸和第二伸缩气缸,方便提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213053309 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021976878.6 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司

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