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一种晶圆切割用表面定位装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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一种晶圆切割用表面定位装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆切割用表面定位装置，包括固定机构、上传动板和限位柱，所述固定机构内部下侧通过机座安装有电机装置，且固定机构上表面安装有定位箱，同时定位箱上表面固定连接有载板，定位箱左上侧安装有左夹板，且定位箱右上侧安装有右夹板，同时左夹板右上侧与缓冲块固定连接，并且缓冲块右侧安装有第二挤压板，第二挤压板右侧设置有第一挤压板，缓冲块为中空设置，且缓冲块内部固定连接有定位柱；所述上传动板设置在定位箱的内部，且上传动板下侧安装有下传动板。该晶圆切割用表面定位装置，通过设置一组电机装置，来实现对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213053341 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021976887.5 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 河

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