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一种晶圆运输机械臂.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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一种晶圆运输机械臂.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆运输机械臂，包括：基座、旋转底座、控制箱、连接杆、伸缩机构、升降机构和托举机构；旋转底座沿上下方向安装在所述基座的顶端后侧；控制箱安装在所述旋转底座的外壁，所述控制箱和旋转底座电性连接；连接杆沿左右方向安装在所述旋转底座的输出端；伸缩机构沿左右方向安装在所述连接杆的顶端右侧；升降机构沿上下方向安装在所述伸缩机构的右侧；托举机构安装在所述升降机构的底端。该晶圆运输机械臂，可对晶圆运输过程中实现冷却，并根据需要即时调整晶圆运输范围，操作简单，并且可对不同规格尺寸晶圆进行运输，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213124400 U (45)授权公告日 2021.05.04 (21)申请号 202021165716.4 (22)申请日 2020.06.22 (73)专利权人 深圳市科汇龙科技有限公司

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