一种特气加热装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型属于特种气体供应技术领域,尤其为一种特气加热装置,包括装置外壳体,所述装置外壳体内安装有装置加热管,且在所述装置外壳体的顶面分别安装有与所述装置加热管两端连通的进气口和排气口;所述装置加热管为螺旋状结构;还包括特气钢瓶,在所述特气钢瓶上套接有加热电夹克,所述特气钢瓶通过管道与所述进气口连通;本实用新型的特气加热装置,特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后从进入装置加热管中,然后从排气口出去供应到机台端,由于装置外壳体内的装置加热管为螺旋管状结构,既能够缓存一定量的特气,又能保证稳定的特

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213089441 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202021997886.9 (22)申请日 2020.09.14 (73)专利权人 上

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