原创力文档- 1
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- 2023-03-02 发布于北京
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本实用新型涉及晶粒检测技术领域，尤其涉及一种晶圆的晶粒自动筛选机，包括布设有电气控制系统的机柜；所述机柜内部安装有电脑主机和测试主机；所述机柜顶部设置有人机交互装置、晶圆输送装置、CCD扫描装置、承片台、上料框、下料框、废料盒和用于吸附故障晶粒的晶料吸嘴机构；所述测试主机和人机交互装置分别与电脑主机电性连接；所述CCD扫描装置、晶圆输送装置和晶料吸嘴机构分别通过电气控制系统与电脑主机电性连接。本技术方案采用机械设备对晶圆中的故障晶粒进行自动筛选，打破传统人工筛选的弊端，实现了排故障晶粒工作的自动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213103306 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021220247.1
(22)申请日 2020.06.29
(73)专利权人 乐山嘉洋科技发展有限公司
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