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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型涉及一种等离子清洗机压盖，属于半导体加工技术领域；其包括与机架竖向滑动连接的转动座、与转动座转动铰接的转动支撑梁、设置在转动支撑梁上的盖壳以及能够限制转动支撑梁转动的，所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾，所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧；本实用新型提供了一种等离子清洗机压盖，能够在压盖掀起后对压盖进行限位固定，为操作人员
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213079472 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202021356822.0 H01L 21/67 (2006.01)
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