1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约7.49千字
  • 约 9页
  • 2023-03-02 发布于四川
  • 举报

一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置.pdf

    本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，包括工作板和工作柱，所述工作板端部与安装板固定连接，且工作板上表面与夹持台通过螺栓装配，同时夹持台左上侧安装有左夹持装置，并且夹持台右上侧安装有右夹持装置，工作板左上侧固定连接有升降台，左夹持装置上固定连接有固定块，且固定块右上侧与夹板固定连接，同时固定块底部与滑块固定连接；所述工作柱安装在安装管内部，且工作柱下端与工作板内部通过螺栓装配。该激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，左夹持装置与右夹持装置相向移动，通过其上的夹板，将晶圆片夹持在夹持腔中，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213053310 U (45)授权公告日 2021.04.27 (21)申请号 202021977388.8 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >