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一种蒸发台.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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一种蒸发台.pdf

    本实用新型公开了一种蒸发台，包括：衬底载体，所述衬底载体具有一镂空开口；回转机构，所述回转机构与所述衬底载体连接，所述回转机构包括回转密封外层、回转密封中层、回转密封内层，所述回转密封内层为空心结构，所述回转密封内层与所述衬底载体的镂空开口对应；且，所述回转密封中层可在所述回转密封外层与所述回转密封内层之间转动；驱动机构，所述驱动机构与所述回转机构连接，且，所述驱动机构驱动所述回转机构转动。本实用新使用双层回转密封结构取代轴心驱动的方式，规避了中间位置支撑条遮挡传感器的问题，使得测定结果准确，工

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213084836 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202022055814.9 (22)申请日 2020.09.18 (73)专利权人 爱发科真空技术（苏州）有限公司

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