一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶.pdfVIP

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2023-03-02 发布于四川
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一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶.pdf

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本实用新型公开一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，重力计量桶位于化学液供液系统和清洗设备之间，化学液供液系统通过进液管与重力计量桶的顶部相连通，重力计量桶的底部通过注液管道与清洗设置连接，注液管道上设置有电子阀，通过清洗设备药液信号控制电子阀的开关，在重力计量桶的顶部中心还设置有排气口，位于重力计量桶一侧设置有连通计量桶顶部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分别设置有工作液位传感器以及下限位传感器，在重力计量桶的桶身外壁上还设置有刻度标识，该装置使化学液计量更加精准，且能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213090881 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202021914747.5 (22)申请日 2020.09.04 (73)专利权人麦斯克电子材料股份有限公司