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旋转阴极磁场磁控溅射装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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旋转阴极磁场磁控溅射装置.pdf

    本实用新型涉及一种磁控溅射装置,尤其涉及一种旋转阴极磁场磁控溅射装置。包括靶材‑基体固定架、磁极旋转架和凸轮滑轨结构三个部分，靶材‑基体固定架是一个环形，内部一层安装待镀基体，外部一层安装靶材，且一一对应形成六个工作区，靶材‑基体固定架上端安装有加载电极，在靶材‑基体间形成稳定的电场，磁极旋转架通过滚动轴承和顶丝与靶材‑基体固定架同轴安装，并利用驱动皮带轮带动磁极旋转，凸轮滑轨结构是利用磁极上的凸轮柱在环形凸轮面上运动，使做旋转运动的磁极同时在滑轨上做上下直线运动，从而使均匀的磁场一直处于靶材的

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218539808 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202223095856.0 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2022.11.22

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