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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型公开了一种光线发生装置及检测系统，该光线发生装置包括非平行的第一光线出射面和第二光线出射面，当使用本文的光线发生装置对晶圆边缘区域的靠近上表面边缘区段位置进行检测时，第一光线出射面可以大致与上表面边缘区段平行，因第二光线出射面光滑内凹曲面，平面与第二光线出射面的相接拐弯部可以与上表面和上斜面的转折部位置相对；这样第二光线出射面发射至转折部的光线的角度减小，这样该部分光线的出射光线也相应向内收拢，有利于汇聚于成像装置的成像通孔中，以获得转折部的清晰成像，进而保证了根据成像分析待测边缘区域
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213068673 U
(45)授权公告日 2021.04.27
(21)申请号 202022142523.3
(22)申请日 2020.09.25
(73)专利权人 深
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