半导体清洗设备的传输装置.pdfVIP

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2023-03-03 发布于四川
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半导体清洗设备的传输装置.pdf

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本实用新型提供一种半导体清洗设备的传输装置，该传输装置包括半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，机械臂的两个端部分别与主体框架的左右两侧连接；主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源设置在主体框架上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源输出的动力传输至机械臂上，以带动机械臂沿主体框架、在竖直方向上下移动。应用本实用新型，可以避免机械臂在水平位置发

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213140577 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202021089247.2 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人北京北方华创微电子装备有限公