原创力文档- 0
- 0
- 约6.66千字
- 约 7页
- 2023-03-03 发布于四川
- 举报
本实用新型揭示了一种晶圆全自动抓取装置，包括抓取盘以及固设在所述抓取盘上的支撑座，所述支撑座上通过轴承套设有一固定座，所述固定座上设有至少两个呈对称结构设置且通过连杆组件与其连接的抓取件，所述抓取件可在所述抓取盘上同步面向或背向所述支撑座移动；所述抓取盘上固设有一与其同心的吸附盘，所述吸附盘上设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213106897 U
(45)授权公告日 2021.05.04
(21)申请号 202021686391.4
(22)申请日 2020.08.13
(73)专利权人 苏
文档评论（0）