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一种低辐射镀膜线用遮板装置.pdfVIP

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  • 2023-03-04 发布于四川
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一种低辐射镀膜线用遮板装置.pdf

    本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体是一种低辐射镀膜线用遮板装置，包括遮挡板和密封轴，所述遮挡板和所述密封轴的一端固定连接，所述密封轴的另一端设置有环套，所述密封轴上分别设置有第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈，所述第一密封件、第二密封件、U型无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈、轴套和挡圈的外部包覆有密封套。本实用新型的有益效果是，通过设置的第一密封件、第二密封件、无骨架油封密封圈、骨架油封密封圈和挡圈，可以有效阻挡外部空气进入磁控溅射镀膜的工作空间内，遮

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213172547 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021905778.4 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人 中建材光电装备（太仓）有限公司

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