具有高温加热功能的晶圆传输装置.pdfVIP

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2023-03-04 发布于四川
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具有高温加热功能的晶圆传输装置.pdf

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本实用新型公开了一种具有高温加热功能的晶圆传输装置,包括铝合金底座、钛合金连接件，所述铝合金底座C面连接端通过螺钉连接有钛合金连接件，铝合金底座D面铠装加热管安装槽内嵌设有铠装加热管，铠装加热管延长端设置有冷端接线帽，冷端接线帽卡设在钛合金连接件的加热管定位板上；所述铠装加热管上另一个冷端接线帽上连接有真空大气转接件，所述真空大气转接件上转接孔与导线连接处设置有环氧树脂密封胶。本实用新型结构简单，重量轻，安装拆卸方便快捷，性能可靠，延长了铝合金底的使用寿命，提供了稳定的晶圆温度，大幅度减少晶圆在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213150746 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022199641.8 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人靖江先锋半导体科技有限公司