原创力文档- 3
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- 2023-03-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆吸附载盘，包括固定框，所述固定框的内壁底端固定连接有连通器，所述连通器的下端固定连接有第二连接管，且第二连接管与连通器相通，所述固定框的下端固定连接有第一活塞管，且第一活塞管的上端与第二连接管固定连接，第一活塞管与第二连接管相通，所述第一活塞管内设置有第二活塞，且第二活塞与第一活塞管内壁滑动连接并密封，所述第二活塞的下端固定连接有连接杆。本实用新型中，多组软吸盘能对晶圆更好的进行吸附，即使有几个松动也不会影响吸附，同时第二活塞管的结构使第一活塞的活动有限度，使第二活塞管内
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213164997 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202021817626.9
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 江苏无恙半导体科技有限公司
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